公开/公告号CN105304524A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社平间理化研究所;
申请/专利号CN201410602454.6
申请日2014-10-31
分类号H01L21/67;H01L21/66;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人刘婷
地址 日本国神奈川县
入库时间 2023-12-18 13:57:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20160203 申请日:20141031
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-02-03
公开
公开
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