蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法

摘要

本发明提供一种对蚀刻液的成分浓度进行监视并且对溶解金属浓度进行监视，以使成分浓度固定的方式自动地补给补充液并且对溶解金属进行分离回收的蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法。所述蚀刻液管理装置具备：第一物性值测定机构，其对与蚀刻液中的酸的浓度相关的第一物性值进行测定；第二物性值测定机构，其对与溶解的金属的浓度相关的第二物性值进行测定；补充液输送控制机构，其基于酸的浓度与第一物性值的相关关系以及第一物性值的测定结果，来控制被补给的补充液的输送；溶解金属回收去除机构，其基于溶解的金属的浓度与第二物性值的相关关系以及第二物性值的测定结果对溶解的金属进行回收去除。