蚀刻工艺中减少的钛底切

摘要

根据本公开内容的一个实施方式，一种形成金属特征的方法包括：使用第一蚀刻化学品蚀刻第一金属层的一部分，和使用第二蚀刻化学品蚀刻阻挡层的一部分以实现阻挡层底切，所述底切小于或等于阻挡层厚度的两倍。