一种基于二级桥式位移放大器的二维快速偏转装置及方法

摘要

基于二级桥式位移放大器的大角位移二维快速偏转装置及方法，该装置包括与立柱为一体设计固定在底座上位于XOY平面内的十字形偏转体，位于十字形偏转体下方分布在立柱相对两侧的XOZ平面内的第一驱动机构和第三驱动机构，位于十字形偏转体下方分布在立柱另外相对两侧的YOZ平面内的第二驱动机构和第四驱动机构；第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构以及第四驱动机构是基于压电陶瓷的二级桥式位移放大机构；十字形偏转体的底面与四个驱动机构的顶端始终保持接触；十字形偏转体上根据需要安装不同规格的反射用镜片；本发明还公开了偏转方法；由于X和Y运动无耦合，从而当两对驱动器同时工作时，可实现高精度、大范围的二维偏转，满足对大偏转角度有特殊要求的场合。