光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法

摘要

本发明提供一种光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法，在待测投影物镜的物面和像面分别放置一个空间光调制器，通过计算机编程分别将物面空间光调制器和像面空间光调制器设置为含多个一维光栅的物面光栅组和含多个二维光栅的像面光栅组。物面光栅组和像面光栅组的各个光栅相对待测投影物镜共轭，每对共轭光栅测量一个视场点的波像差。通过计算机编程控制物面和像面光栅的周期和栅线方向，在不更换或机械移动任何器件的前提下实现剪切方向的改变和剪切率的调整，提高了系统灵活性；通过计算机编程控制物面或像面光栅栅线移动实现相移，避免了机械移动光栅产生相移带来的光瞳位置偏移或测量视场点位置偏移的问题，提高了测量精度。