用于测定流动气体混合物中气体浓度的装置和方法

摘要

本发明涉及用于测定流动气体混合物中气体浓度的装置和方法。本发明涉及一种用于测定在流动气体混合物中的气体浓度的方法，其中该流动气体混合物包括具有规定的粒径分布的固体，其中经过光谱仪测量在流动气体混合物中气体的浓度，其包括在测量过程中被引导通过具有由透气材料制成的壁的测量通道的光谱仪的测量光束。本发明还涉及一种用于实施这种方法的装置。本发明的方法代表了在生产二氧化硅中的气流中氧气浓度的更便宜和更可靠的测量。