一种具有颜料亲和基团的星型结构的聚合物表面活性剂在降低铜的静态腐蚀速率中的应用

摘要

本发明揭示一种具有颜料亲和基团的星型结构的聚合物表面活性剂在降低铜的静态腐蚀速率中的应用，其中，该聚合物被添加入化学机械抛光浆料中，且该化学机械抛光浆料还包含：研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂和氧化剂。使用本发明的浆料的可以降低铜的静态腐蚀速率，改善在抛光后铜线的碟形凹陷。