一种改善区熔硅单晶硅生长的热场

摘要

本发明提供了一种改善区熔硅单晶硅生长的热场，包括线圈主体和冷却水管，所述冷却水管焊接嵌入所述线圈主体内，所述线圈主体为平板线圈，所述线圈主体的上表面向线圈内部凹陷成关于中心对称的阶梯结构，所述阶梯结构的最外层台阶的外延周向设有一凹槽。根据电流的趋肤效应，以及磁场的尖角效应，本发明的凹槽设计使得凹槽处的磁感线密度增加，磁场变强，从而达到有效熔化硅刺的目的，提高硅单晶生长稳定性。