球面金属变形镜及其一体化加工工艺

摘要

本发明涉及一种球面金属变形镜及其一体化加工工艺，其中，该球面金属变形镜包括反射镜、驱动器阵列以及支撑底盘；反射镜与驱动器阵列之间通过过渡接头并以胶接方式连接，支撑底盘与驱动器阵列之间以螺接方式连接。本发明提供了一种可提供更大校正动态范围以及更高工作带宽的球面金属变形镜及其一体化加工工艺。