一种可见光CCD测试仪及可见光CCD的测试方法

摘要

本发明公开了一种可见光CCD测试仪及可见光CCD的测试方法，包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、目标板、平行光管、三维调整架、高精度角速率转台和待测CCD；卤素灯光源室通过连接板用螺钉固定在单色仪的出入平行三光栅扫描单色仪的入口狭缝处；单色仪通过出入平行三光栅扫描单色仪的出口狭缝处用螺钉固定在积分球的入口处；积分球出口轴线与分划板部中分划板轴线重合，卤钨灯光源通过与连接板固定连接；光源聚焦透镜通过透镜压圈与透镜座固定连接；本发明提供的可见光CCD测试仪通过利用积分球装置和目标板进行配合检测，通过对结果进行复合计算，实现对可见光CCD的快速检测，成本低廉同时检测效率高。