一种高均匀性单晶硅片制绒液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高均匀性单晶硅片制绒液，其特征是由下述重量份的原料制得：氢氧化钠0.5-1，羟丙基瓜尔胶0.3-0.5，二丙二醇甲醚0.1-0.2，太古油0.3-0.5，月桂基磺化琥珀酸单酯二钠0.3-0.5，植酸钠0.5-1，助剂3-5，羟基硅油0.05-0.1，水80-100。本发明的制绒液有效改善了制绒工艺的一致性和可重复性，提升了绒面密度，有效提高绒面尺寸和密度的均匀性，改善产品质量；不含IPA，有利于环境保护和人体健康，安全环保。