利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的方法

摘要

本发明公开了一种利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的方法，首先每个产品建立明确的失效项目表格和标准化的测试图形母版（含标准参考点）；然后利用Excel？VBA编程将探针台原始文件转换成测试图形（含确定的参考点）；再次利用Excel？VBA编程，计算参考点和标准参考点之间的差值，实现原始测试图形和标准化测试图形母版的参考点的重合，同时进行相关数据处理，生成和标准化测试图形母版一致的图形；最后根据失效项目表格对批量处理后的标准化图形进行Summary信息提取统计，最终实现晶圆测试Summary的标准化。本发明实现了测试总数、失效项目等的严格统一，替换传统的风格各异的Summary格式，适用于不同类型探针台生成的测试图形或不同测试代工厂提供的测试图形等。

说明书

技术领域

本发明涉及一种在集成电路芯片级测试过程中利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的方法，应用于不同类型探针台生成的测试图形或不同测试代工厂提供的测试图形。

背景技术

对于集成电路芯片级测试过程，晶圆测试Summary（注：本文提及的Summary都是基于探针台测试图形生成，因为它是最准确的）在生产工序可以实时反馈测试状态（正常/低良），对于同一批次晶圆在不同测试平台测试可以监控不同测试平台之间是否存在测试差异；对于终端客户，可以得到批次良率，失效分布和历史数据对比报告等，综合各种分析报告判断是否需要改变工艺条件、重新设计改版或增删测试项目以达到最优化的产品设计和性价比需求。晶圆测试Summary的提供也经历了一个逐步完善和技术革新的过程。最原始的晶圆测试Summary仅仅提供合格数与不合格数的数量，主要基于两个原因：一是客户不重视，只要达到预期利润即可；二是探针台硬件不支持，多数探针台使用TTL通讯接口，只能提供合格和不合格信号。随着测试技术的进步和成本压力的增加，客户需要对电路的失效具体原因进行定位分析，制定相应的对策，提高产品测试良率，减少利润损失；同时探针台增加了GPIB通讯接口，部分探针台已可以实现1024个失效项目分类，可满足绝大多数客户需求。伴随着大数据时代的到来，为了更好的对产品失效模式进行分析，客户对每一家测试服务供应商提出了一个更高的要求：标准化测试Summary，测试总数、失效项目设置必须严格一致，这样就可以闭环不同测试工厂、测试平台或探针台可能带来的数据不一致的问题。这就需要对探针台测试图形进行二次处理：标准化，也有利于服务商通过比对发现自身的不足。

发明内容

本发明的目的是在集成电路芯片级测试过程，利用Excel实现晶圆测试Summary标准化，实现测试总数、失效项目等的严格统一，替换传统的风格各异的Summary格式，适用于不同类型探针台生成的测试图形或不同测试代工厂提供的测试图形等。

按照本发明提供的技术方案，所述利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的方法为：（1）首先对每个产品建立明确的失效项目表格和标准化的测试图形母版，所述测试图形母版包含标准参考点；（2）然后利用ExcelVBA编程将探针台原始文件转换成原始测试图形，并根据标准测试图形母版的标准参考点位置确定每个产品的原始测试图形参考点；（3）再次利用ExcelVBA编程，计算所述原始测试图形的参考点和测试图形母版的标准参考点之间的位移差值，将原始测试图形和测试图形母版中所述参考点和标准参考点进行位置重合，将原始测试图形生成和测试图形母版一致的图形；（4）最后，根据每个产品的失效项目表格对标准化后的测试图形进行Summary信息提取统计，实现晶圆测试Summary的标准化。

具体的，步骤（1）制定测试图形母版的标准参考点时，对于有明显光刻直角的晶圆，以直角交汇点为标准参考点；对于没有显著特征区域的晶圆，选择手工墨点定位作为标准参考点。步骤（2）确定原始测试图形的参考点时，也相应的选择有明显光刻直角参考，或有手工墨点定位参考的点。

所述标准参考点用一个设定字符表示，如“#”或“*”。

步骤（3）中，先对测试图形母版的标准参考点进行搜索定位，确定坐标位置（X1，Y1），再对原始测试图形的参考点进行搜索定位，确定坐标位置（X2，Y2），从而得出两张图形之间存在的位移差值，X方向：X1-X2；Y方向：Y1-Y2，根据位移差值确定原始测试图形在X、Y轴上的位移量，利用软件重新进行所有数据的位移和计算实际的数据段在X和Y方向的长度，将原始测试图形的参考点强制和测试图形母版的标准参考点进行位置重合。然后，根据测试图形母版的测试管芯总数和属性对经过处理的原始测试图形进行数据处理：测试图形母版区域外的管芯，一律剔除，管芯属性重新定义为非测试；测试图形母版内的，但是处理后的原始测试图形有没有体现测试状态的，一律补足，管芯属性重新定义为测试不良品；其他常规状态的管芯匹配测试图形母版即可。

步骤（4）中根据每个产品的失效项目表格，对标准化后的测试图形进行扫描匹配，得出每个测试项目的失效数目。

本发明的优点是：整个操作过程中，通过技术转换，将不同类型探针台生成的测试图形或不同测试代工厂提供的测试图形等通过ExcelVBA编程经过原始图形生成、标准化母版比对和Summary提取等步骤实现探针台Summary的标准化，达到了客户的需求。软件的批处理也大幅简化了传统的手工数据录入、个别失效项微调和二次确认等繁琐的流程，有效提升了生产效率。

附图说明

图1本发明应用前原始测试图形示意图。

图2本发明使用到的标准化测试图形母版示意图。

图3本发明生成的标准化测试图形示意图。

图4本发明生成的标准化Summary示意图。

注：图示中的“#”表示参考点。

具体实施方式

本发明的总体流程为：首先每个项目建立明确的失效项目表格和标准化的测试图形母版（含标准参考点）；然后利用ExcelVBA编程将探针台原始文件转换成测试图形（含确定的参考点）；再次利用ExcelVBA编程，计算参考点和标准参考点之间的差值，实现原始测试图形和标准化测试图形母版的参考点的重合，同时进行相关处理，生成和标准化测试图形母版一致的图形；最后对批量处理后的标准化图形进行Summary信息统计，实现晶圆测试Summary的标准化。

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

首先根据客户需求对每个产品建立明确的失效项目表格，同时制作标准化的测试图形母版（客户提供或根据客户需求服务商自己制作），明确测试芯片总数，测试管芯属性和良率控制线等。测试图形母版需要实施一个关键步骤：制定标准参考点，对于有明显光刻直角的晶圆，以直角交汇点为标准参考点；对于没有显著特征区域的晶圆，可以选择手工墨点定位作为标准参考点，这个点可以用“#”或“*”等字符表示（如图2圆圈内突出显示的点）。理论上常规的非数字和英文字母的ASCII码均可，由于广泛认可的是“#”和“*”两个字符，所以根据大众认可选择了这两个字符。以上信息的一一完善标志着每个产品标准化母版的建立。如图2所示，空白单元格表示非测试区域，“M”单元格表示强制打点区域，“T”单元格表示测试区域，“#”单元格表示标准参考点。

第二步使用ExcelVBA编程语言（Office软件基本上每台PC机都会安装，有广泛的认知度和熟悉度。本文中Excel均指MicrosoftOfficeExcel2007。）对不同探针台生成的二进制文件进行批量处理，生成需要的原始测试图形，文件格式*.maskb，并根据标准测试图形母版的标准参考点位置确定每个产品的原始测试图形参考点（相对位置），依据规则如下：1、有明显光刻直角参考；或2、有手工墨点定位参考。本发明实施例的原始测试图形如图1所示，右侧边缘的“#”为参考点。

第三步继续使用ExcelVBA编程进行“抠图”处理，先对标准测试图形母版的标准参考点进行搜索定位，确定坐标位置（X1，Y1），再对原始测试图形的参考点进行搜索定位，确定坐标位置（X2，Y2），从而得出两张图形之间存在的位移差值，X方向：X1-X2；Y方向Y1-Y2。根据各自差值的正负确定原始测试图形在X、Y轴上上、下、左、右的位移量，利用软件重新进行所有数据的位移和计算实际的数据段在X和Y方向的长度。经过这一步骤，将原始测试图形的参考点强制和标准测试图形母版的标准参考点进行位置重合。

第四步根据标准化的测试图形母版（文件格式*.xls或*.xlsx）的测试管芯总数和属性对经过预先处理的原始测试图形进行数据处理，遵循原则：标准化测试图形母版区域外的管芯，一律剔除，管芯属性重新定义为“非测试”；标准化测试图形母版内的，但是处理后的原始测试图形有没有体现测试状态的，一律补足，管芯属性重新定义为“测试不良品”；其他常规状态的管芯匹配标准化测试图形母版即可。经过这道软件处理后，就形成了和标准化测试图形母版一致的图形，即被标准化的测试图形，只是每个测试管芯的属性存在不一致。如图3所示，已依据标准参考图形，自动去除多余测试管芯，增补不足管芯。关注顶部的对比区域A，标准化后图形发生了很大变化。

最后一步是进行被标准化后的测试图形的Summary批量提取，同样是通过ExcelVBA编程来实现，根据每个产品的失效项目表格，对标准化后的测试图形进行扫描匹配，得出每个测试项目的失效数目。至此，完成了利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的处理，生成的标准化Summary如图4所示。

本发明因为ExcelVBA开发平台的使用，闭环了不同探针台或测试厂之间可能存在的数据格式兼容性问题。客户对于标准化的测试Summary的唯一性、准确性和可参考性非常满意。