利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法

摘要

利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法，涉及全息光栅制作领域，解决了现有匀胶方法存在的耗时长、成本高、制备光刻胶膜可靠性差、光刻胶膜不均匀、难以制备较厚光刻胶膜的问题。该装置包括电机、基底真空吸盘、第二真空泵调节开关、光刻胶滴管、风淋背板、风淋腔室、气泵组、显示屏、急停按钮、触屏控制面板、真空泵、残液槽、风速调节开关、第一真空泵调节开关、轴承支撑结构、控制面板、光刻胶喷头、黄色荧光光源、残液收集装置。利用真空泵的真空吸附力使全息光栅基底固定在基底真空吸盘中心，利用气泵组的压缩空气完成匀胶工艺。本发明通过气流控制光刻胶蒸发速率来控制光刻胶膜厚度，可靠性高，耗时短，成本低。