采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法

摘要

本发明公开了一种采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法，属于薄膜疲劳失效的预测方法。本发明的薄膜疲劳失效预测方法的具体步骤如下：采用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；然后将薄膜放在纳米压痕仪上并设定载荷平均值、载荷幅值、加载频率以进行测试；在测试过程中记录薄膜的存数刚度随时间的变化关系；通过分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点以得出薄膜发生疲劳失效的时间。本发明的薄膜测试中薄膜为铝、钛金、锆、银、镍、钼、硅或钛铝薄膜。本发明采用纳米压入测试技术预测薄膜疲劳失效的方法操作简单，结果准确有效并且适应性强。