基于纳米压入技术的低介电材料薄膜性能研究

摘要

近二十年来.主要用于检测材料表面微/纳米尺度力擘性质的纳米压入技术发展迅速.本文通过纳米压痕法测量了低介电材料薄膜的纳米压入硬度和弹性模量，研究了低介电材料薄膜基底效应对测试薄膜力学性能的影响.研究结果表明，纳米压入技术是测量薄膜硬度和弹性模量的有力工具，并可作为有效的实验手段对薄膜的基底效应进行研究.