制造基于固体的薄膜电池的至少一层的方法、其等离子体粉末喷枪和基于固体的薄膜电池

摘要

本发明涉及一种用于通过粉末等离子体喷射制造基于固体的薄膜电池(100)的至少一层(32)的方法。本发明还涉及一种用于在基材(33)上制造基于固体的薄膜电池(100)的至少一层(32)的等离子体-粉末喷枪(1)。该等离子体-粉末喷枪包括等离子体产生区(10)和至少一个混合区(20)，在该等离子体产生区内可利用能量源(15)产生等离子体气流(13)，而该混合区位于该等离子体气流(13)内。本发明进一步涉及根据本发明方法制造的基于固体的薄膜电池(100)。