首页> 中国专利> 一种非晶ZnSnO薄膜晶体管型紫外探测器及其制备方法

一种非晶ZnSnO薄膜晶体管型紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非晶ZnSnO薄膜晶体管型紫外探测器及其制备方法。所述的非晶ZnSnO薄膜晶体管型紫外探测器包括:低阻Si为衬底,同时为栅极;SiO

著录项

  • 公开/公告号CN104916733A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-09-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN201510252309.4

  • 发明设计人 吕建国;冯丽莎;江庆军;叶志镇;

    申请日2015-05-18

  • 分类号

  • 代理机构杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张宇娟

  • 地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

  • 入库时间 2023-12-18 10:55:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-12

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/113 申请公布日:20150916 申请日:20150518

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-11-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/113 申请日:20150518

    实质审查的生效

  • 2015-09-16

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号