一种新型高精度微位移平台及其使用方法

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种新型高精度微位移平台及其使用方法, 新型高精度微位移平台，包括有运动装置和组合体，所述组合体包括有第一组合件和第二组合件，所述第一组合件与第二组合件之间紧密贴合，所述第一组合件为微位移运动部件，所述第二组合件与所述运动装置紧密连接，所述第一组合件与第二组合件的配合面相对于所述运动装置的运动方向倾斜设置。本申请的方案中，通过以行程换精度的方式，直接提高了本申请微位移平台的位移精度。