燃烧合成法生产高纯β相氮化硅的制备方法

摘要

本发明涉及燃烧合成法生产高纯β相氮化硅的制备方法，由氮化硅粉和硅粉在充有氮气的反应釜中燃烧反应。所述氮化硅粉和硅粉按照(0～100)∶(100～0)的重量比例混合而成，并添加适量尿素。本发明在高氮压条件下反应，相对其他方法更节能、省时；对原料气体都进行预处理保证产品纯度；本发明设备简单，成本小，产品质量稳定产量高。