一种提高铝掺杂氧化锌透明导电薄膜导电性的方法

摘要

本发明公开了一种提高铝掺杂氧化锌透明导线薄膜导电性的方法，包括制备铝掺杂氧化锌溶胶，清洗玻璃衬底，制备铝掺杂氧化锌透明导电薄膜和铝掺杂氧化锌透明导电薄膜真空退火等步骤。本发明操作简单方便且成本低廉，易于大规模推广和工业化应用，可广泛应用于透明导电薄膜的处理工艺中来提高TCO透明导电薄膜的导电性，进而满足实际需要。