锑掺杂氧化锌纳米阵列自供能湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的纯氧化锌传感器敏感性低的问题，提供了一种锑掺杂氧化锌纳米阵列自供能湿度传感器及其制备方法，属于自供能主动式气体传感器领域。本发明提供的湿度传感器，包括湿度感应原件，电极和框架；湿度感应原件为生长在钛片上的锑原子掺杂摩尔含量为0.8％～1.6％的氧化锌纳米阵列。其制备方法为，向硝酸锌溶液中加入锑离子掺杂液，再逐滴加入氨水；再将洁净的钛片浸入上述溶液中，得到生长在钛片上的锑掺杂氧化锌纳米阵列的湿度感应原件；最后将生锑掺杂氧化锌纳米阵列，铝箔和聚酰亚胺薄膜组装在一起。本方法制备的湿度传感器灵敏度较氧化锌纳米线有大幅提高；并且具有自供能的特性，无需任何外部电能的自供能气体传感器。