双轴和三轴惯性传感器及惯性感测方法

摘要

一种惯性传感器，该惯性传感器包括：框架；悬挂于框架的检验质量块；第一谐振元件对，该第一谐振元件对电耦合至检验质量块或电耦合至中间组件，该中间组件机械耦合至检验质量块，每个第一谐振元件相对于另一个耦合至检验质量块的对侧，第一谐振元件实质上彼此相同且当传感器不加速时，具有与检验质量块实质上相同的静电耦合；第一谐振元件和检验质量块实质上位于一个平面内，且其中检验质量块正交于平面的相对于第一谐振元件的移动改变检验质量块和第一谐振元件之间的静电耦合；驱动装置，耦合至第一谐振元件，使第一谐振元件中的每一者振动；以及传感器组件，检测第一谐振元件中每一者的谐振频率的偏移；以及处理装置，对第一谐振元件中每一者的偏移求和以提供与第一轴平行的检验质量块的加速度的测量，第一轴与平面正交。