法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-03
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/112 申请公布日:20150701 申请日:20150310
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/112 申请日:20150310
实质审查的生效
2015-07-01
公开
公开
机译: 制造功率晶体管装置的多层结构的方法,制造用于异质结场效应晶体管装置的多层结构的方法以及基于氮化物的异质结场效应晶体管装置
机译: 异质结场效应晶体管及异质结场效应晶体管的制造方法
机译: 异质结场效应晶体管及异质结场效应晶体管的制造方法