气体激光器、气体激光器气路系统及其防油耗控制方法

摘要

本发明提供一种气体激光器气路系统，包括谐振腔、气体驱动装置、抽真空装置、防润滑油损耗装置及控制装置；气体驱动装置与谐振腔呈回路连通；抽真空装置的第一连接端通过第四管路连通于谐振腔的输出端，而其第二连接端通过第五管路与气体驱动装置的输出端连通；防润滑油损耗装置设于第五管路上并与气体发生装置、抽真空装置连通。由于在气路系统配置有防润滑油损耗装置，除了避免润滑油对谐振腔、抽真空装置的影响，还能将非正常损耗的润滑油收集再用。本发明还提供一种气体激光器和气体激光器气路系统的防油耗的控制方法。

说明书

技术领域

本发明涉及激光器的技术领域，尤其涉及一种气体激光器、气体激光器气 路系统及气体激光器气路系统的防润滑油非正常损耗控制方法。

背景技术

随着大功率气体激光器在切割、焊接、熔覆等领域的广泛使用，国内外加 工市场对大功率气体激光器的需求逐年呈上升趋势。

其中，气体激光器内部的核心部件，即谐振腔，该谐振腔内的洁净程度在 很大程度上会直接影响谐振腔的稳定性和使用寿命。

气体激光器（主要是快速轴流和快速横流激光器），利用气体驱动装置将 工作气体驱动至谐振腔内部，一般地，气体驱动装置采用罗茨泵，而罗茨泵的 润滑油可能会通过轴与泵体之间的缝隙进入谐振腔内，严重影响谐振腔的洁净 程度。鉴于此种情况，行业内普遍采用的方法为：在罗茨泵齿轮箱与罗茨泵被 搅动气体之间保持一个较大的压力差或较快的抽速。但是，此种方法存在如下 问题：抽气速度过快容易导致罗茨泵的润滑油被抽入抽真空装置（如真空泵） 内，造成润滑油的非正常损耗，致使罗茨泵经常出现油位报警而需要频繁添加 润滑油，同时，还会将抽真空装置的润滑油油位超高，如此，无疑增加抽真空 装置的润滑油污染谐振腔内部的风险，从而使到气体激光器的运行成本居高不 下。

因此，有必要提供一种技术手段以解决上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之缺陷，提供一种具有用以将气体驱动装 置的非正常损耗润滑油收集并将其返还至气体驱动装置的防润滑油损耗装置 的气体激光器气路系统，以解决现有技术中的气体驱动装置的润滑油容易因抽 气速度过快而被抽入抽真空装置内以致润滑油出现非正常损耗及抽真空装置 的润滑油油位容易超高的问题；同时，还提供一种具有该气路系统的气体激光 器及气体激光器气路系统的防油耗控制方法。

本发明是这样实现的，一种气体激光器气路系统，包括：

谐振腔；

用于将工作气体驱动至所述谐振腔内部的气体驱动装置，所述气体驱动装 置的输出端通过第二管路连通于所述谐振腔的输入端，所述气体驱动装置的输 入端通过第三管路连通于所述谐振腔的输出端；

用于将所述谐振腔内部抽真空的抽真空装置，所述抽真空装置的第一连接 端通过第四管路连通于所述谐振腔的输出端，且所述抽真空装置的第二连接端 通过第五管路与所述气体驱动装置的输出端连通；

用以将所述气体驱动装置的非正常损耗润滑油收集并将其返还至所述气 体驱动装置的防润滑油损耗装置，所述防润滑油损耗装置设于所述第五管路上 并与所述抽真空装置连通；及

用以控制所述气体驱动装置、所述抽真空装置及所述防润滑油损耗装置的 控制装置，其分别与所述气体驱动装置、所述抽真空装置、所述防润滑油损耗 装置连接。

具体地，所述防润滑油损耗装置包括将从所述气体驱动装置流向所述抽真 空装置的润滑油蒸汽冷凝收集的冷凝收集器及用以控制所述第五管路的第一 控制阀；

所述冷凝收集器包括有用以冷凝分离气态润滑油的冷凝部和用以收集经 所述冷凝部冷凝为液态润滑油的收集部，所述冷凝部套入所述第五管路并与所 述第五管路连通；

所述第一控制阀设于所述第五管路上且位于所述冷凝收集器与所述抽真 空装置之间，且该第一控制阀配设有两个连接管路，其分别为第一连接管路和 第二连接管路，所述第一连接管路与所述冷凝部呈常开连接，所述第二连接管 路与外界大气呈常闭连接。

较佳地，所述冷凝收集器还配设有用以将所述收集部收集的润滑油送回至 所述气体驱动装置的返回驱动装置，且该返回驱动装置与所述控制装置电连 接。

优选地，所述冷凝收集器位于所述气体驱动装置的上方。

进一步地，所述防润滑油损耗装置还包括用以连通所述收集部与所述气体 驱动装置两者的回流管路及用以控制所述回流管路的连通或关闭的第二控制 阀，所述第二控制阀设于所述回流管路上，且所述第二控制阀与所述控制装置 电连接。

进一步地，所述第二控制阀为单通电磁阀。

具体地，所述气路系统还包括用以检测所述气体驱动装置的润滑油油位并 且在该润滑油油位小于或等于预设油位值便发生报警的油位检测单元、用以检 测所述气体驱动装置的润滑油是否损耗的耗油检测单元、用以检测所述谐振腔 内部气压是否大于或等于预设气压值的气压检测单元，且所述油位检测单元、 所述耗油检测单元、所述气压检测单元分别与所述控制装置电连接。

进一步地，所述耗油检测单元包括有在预设倒计时间内倒计测量需要往所 述气体驱动装置添加润滑油的时间的第一倒计时器，所述第一倒计时器与所述 控制装置电连接；

其中，当所述第一倒计时器的倒计时间T1＞0，则表示所述气体驱动装置 尚未到达收集损耗润滑油的周期；当所述第一倒计时器的倒计时间T1=0，则 表示所述气体驱动装置达到收集损耗润滑油的周期。

进一步地，所述耗油检测单元还包括有在预设倒计时间内倒计测量收集在 所述收集部的润滑油返回至所述气体驱动装置的时间的第二倒计时器，所述第 二倒计时器与所述控制装置电连接；

其中，当所述第二倒计时器的倒计时间T2＞0，则所述第一控制阀的所述 第一连接管路关闭而所述第二连接管路打开、所述第二控制阀打开，收集在所 述收集部的润滑油开始返回至所述气体驱动装置；当所述第二倒计时器的倒计 时间T2=0，则所述第一控制阀的所述第一连接管路打开而所述第二连接管路 关闭、所述第二控制阀关闭，收集在所述收集部的润滑油全部返回至所述气体 驱动装置。

本发明提供一种气体激光器，具有上述的气路系统。

本发明还提供一种上述的气体激光器气路系统的防油耗控制方法，包括步 骤如下：

S1、打开所述气体激光器的电源开关；

S2、控制所述耗油检测单元检测所述第一倒计时器的倒计时间T1是否等 于零，若是，则执行步骤S3；若否，则执行步骤S9；

S3、控制所述气压检测单元检测所述谐振腔内部气压是否大于或等于预设 气压值，若是，则执行步骤S5；若否，则执行步骤S4；

S4、控制储存有保护气体的保护气单元向所述谐振腔回充保护气，再重复 执行步骤S3；

S5、依次控制所述第一控制阀的所述第一连接管路关闭而所述第二连接管 路打开、所述第二控制阀打开，控制所述耗油检测单元检测所述第二倒计时器 的倒计时间T2是否等于零，若是，则执行步骤S7；若否，并执行步骤S6；

S6、保持所述第一控制阀的所述第一连接管路关闭而所述第二连接管路打 开、所述第二控制阀打开，重复执行步骤S5；

S7、控制所述第一控制阀的所述第一连接管路打开而所述第二连接管路关 闭、所述第二控制阀关闭，并执行步骤S8；

S8、重新设置所述第一倒计时器的倒计时间T1及所述第二倒计时器的倒 计时间T2，并执行步骤S9。

S9、结束所述气路系统的防油耗检测操作。

进一步地，在步骤S2与S3之间，还包括步骤：

a、控制所述油位检测单元检测所述气体驱动装置的润滑油油位是否小于 或等于预设油位值，若是，则执行步骤b；若否，则执行步骤S3；

b、向所述气体驱动装置添加润滑油，再重复执行步骤S2。

进一步地，还包括步骤S12，控制所述气体激光器进行正常工作。

本发明的气体激光器气路系统的技术效果为：由于在气路系统配置有防润 滑油损耗装置，除了避免润滑油对谐振腔、抽真空装置的影响，如谐振腔的洁 净度受到污损、抽真空装置的润滑油油位出现超高等，同时，还能将非正常损 耗的润滑油收集再用，保证润滑油的合理使用。

本发明的气体激光器的技术效果为：由于气体激光器的气路系统，配置有 防润滑油损耗装置，除了避免润滑油对谐振腔、抽真空装置的影响，如谐振腔 的洁净度受到污损、抽真空装置的润滑油油位出现超高等；同时，还能将非正 常损耗的润滑油收集再用，保证润滑油的合理使用；再有，还能减少对谐振腔、 抽真空装置的维护保养，大大提高气体激光器的工作效率，并降低其运行成本。

本发明的气体激光器气路系统的防油耗控制方法的技术效果为：通过控制 装置控制油位检测单元以检测气体驱动装置的润滑油油位、耗油检测单元以检 测气体驱动装置的润滑油是否损耗、气压检测单元以检测谐振腔内部气压是否 大于或等于预设气压值，有效地检测出气体激光器气路系统是否存在润滑油损 耗情况，若不存在润滑油损耗，则结束气路系统的防油耗检测操作；若存在润 滑油损耗，则只要由控制装置控制冷凝收集器所收集的润滑油返回至气体驱动 装置，以使润滑油合理再用，由此，即可有效地达到防止润滑油非正常损耗的 目的，而且该方法简单合理，大大提高气体激光器的工作效率，并降低其运行 成本。

附图说明

图1为本发明的气体激光器气路系统的示意图；

图2为本发明的气体激光器气路系统的防润滑油损耗装置的示意图；

图3为本发明的气体激光器气路系统的防油耗控制方法的控制流程图；

图4为本发明的气体激光器气路系统的防油耗控制方法另一实施例的控 制流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实 施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅 仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1及图2，本发明提供一种气体激光器气路系统10，其中，气体 激光器利用气体或蒸汽作为工作物质产生激光的器件。在适当放电条件下，利 用电子碰撞激发和能量转移激发等，气体粒子有选择性地被激发到某高能级 上，从而形成与某低能级间的粒子数反转，产生受激发射跃迁。具体地，气路 系统10包括谐振腔20、气体发生装置80、气体驱动装置30、抽真空装置40、 防润滑油损耗装置60及控制装置（图中未标示），下面对气路系统10各部件 作进一步地描述：

气体发生装置80用以产生工作气体，当然其亦可为具有工作气体的气瓶， 本实施例中的工作气体主要为二氧化碳，而气体发生装置80的输出端通过第 一管路71连通于谐振腔20的输入端。

气体驱动装置30用于将工作气体驱动至谐振腔20内部，该气体驱动装置 30的输出端通过第二管路72连通于谐振腔20的输入端，气体驱动装置30的 输入端通过第三管路73连通于谐振腔20的输出端，由此，气体驱动装置30 和谐振腔20之间通过第二管路72、第三管路73形成一气体驱动循环回路， 以使未被谐振腔20使用的工作气体能够回到气体驱动装置30，再被气体驱动 装置30驱动至谐振腔20而被重新利用，有效地提高了工作气体的利用率。

抽真空装置40用于将谐振腔20内部抽真空，其中，本实施例的抽真空装 置40具有两个连接口，分别为正压连接口和负压连接口，具体地，该抽真空 装置40的第一连接端（即为正压连接口）通过第四管路74连通于谐振腔20 的输出端，且抽真空装置40的第二连接端（即为负压连接口）通过第五管路 75与气体驱动装置30的输出端连通。

防润滑油损耗装置60用以将气体驱动装置30的非正常损耗润滑油收集并 返还至气体驱动装置30，防润滑油损耗装置60设于第五管路75上并与抽真 空装置40连通。具体地，由于防润滑油损耗装置60设于气体发生装置80与 抽真空装置40之间，若气体发生装置80的润滑油发生非正常损耗，该部分的 润滑油在流入抽真空装置40之前需要经过防润滑油损耗装置60，那么防润滑 油损耗装置60便会将气体驱动装置30的非正常损耗润滑油收集并将其返还至 气体驱动装置30。

控制装置用以控制气体驱动装置30、抽真空装置40及防润滑油损耗装置 60，且该控制装置分别与气体驱动装置30、抽真空装置40、防润滑油损耗装 置60连接。

由于在气路系统10配置有防润滑油损耗装置60，除了避免润滑油对谐振 腔20、抽真空装置40的影响，如谐振腔20的洁净度受到污损、抽真空装置 的50润滑油油位出现超高等，同时，还能将非正常损耗润滑油收集再用，保 证润滑油的合理使用。

请参阅图2，防润滑油损耗装置60包括将从气体驱动装置30流向抽真空 装置40的润滑油蒸汽冷凝收集的冷凝收集器61及用以控制第五管路75的第 一控制阀62；

冷凝收集器61包括有用以冷凝分离气态润滑油的冷凝部611和用以收集 经冷凝部611冷凝为液态润滑油的收集部612，冷凝部611套入第五管路75 并与第五管路75连通；

第一控制阀62设于第五管路75上且位于冷凝收集器61与抽真空装置40 之间，且该第一控制阀62配设有两个连接管路（图中未标示），其分别为第 一连接管路和第二连接管路，第一连接管路与冷凝部611呈常开连接，第二连 接管路与外界大气呈常闭连接。

当非正常损耗润滑油流入冷凝收集器61的冷凝部611时，由于该非正常 损耗润滑油主要以蒸汽的形式流动，因此，冷凝部611内设有用以与非正常损 耗润滑油换热的换热介质，以使气态的非正常损耗润滑油经换热后变成液态， 同时，一些混在非正常损耗润滑油的杂质也能够被分离；而换热后的液态非正 常损耗润滑油会流至收集部612储存；待至一定时间后，可控制第一控制阀 62的第一连接管路关闭而第二连接管路打开，以断开冷凝收集器61与抽真空 装置40之间的连通，然后再借由控制装置控制冷凝收集器61，以使在收集部 612内的液态非正常损耗润滑油返回至气体驱动装置30。

较佳地，为了保证液态非正常损耗润滑油顺利地返回至气体驱动装置30， 本实施例的冷凝收集器61还配设有用以将收集部612收集的润滑油送回至气 体驱动装置30的返回驱动装置（图中未标示），且该返回驱动装置与控制装 置电连接。借由返回驱动装置的驱动，可以方便快捷地使到收集部612收集的 润滑油快速地送回至气体驱动装置30中去，而该返回驱动装置为液压马达、 驱动泵、蠕动泵等。

作为本实施例的另一优选方案，为免去返回驱动装置的设置，则本实施例 的冷凝收集器61位于气体驱动装置30的上方，以使液态非正常损耗润滑油能 够借助重力作用，较好地自上而下地流回至气体驱动装置30。

请继续参阅图2，防润滑油损耗装置60还包括用以连通收集部612与气 体驱动装置30两者的回流管路64及用以控制回流管路64的连通或关闭的第 二控制阀63，第二控制阀63设于回流管路64上，且第二控制63与控制装置 电连接，由此，当储存在收集部612内的液态非正常损耗润滑油需要返回至气 体驱动装置30，只要通过控制装置控制第一控制阀62的第一连接管路关闭而 第二连接管路打开、第二控制阀63打开，此时，液态非正常损耗润滑油便能 顺利地返回至气体驱动装置30。再者，由于第二控制阀63、回流管路64的设 置，可合理地使到储存在收集部612内的液态非正常损耗润滑油返回至气体驱 动装置30，并且能够避免在液态非正常损耗润滑油返回至气体驱动装置30时 对气路系统10的各部件造成影响。

进一步地，第二控制阀63选用为单通电磁阀，即可简单有效地保证收集 部612与气体驱动装置30之间的连通与否。

较佳地，气体驱动装置30为罗茨泵或涡轮风机。罗茨泵是一种旋转式变 容真空泵，它是由罗茨鼓风机演变而来的。而罗茨泵具有以下特点：1、在较 宽的压强范围内有较大的抽速；2、起动快，能立即工作；3、对被抽气体中含 有的灰尘和水蒸气不敏感；4、转子不必润滑，泵腔内无油；5、振动小，转子 动平衡条件较好，没有排气阀；6、驱动功率小，机械摩擦损失小。

涡轮风机，根据不同地区的习惯，又称屋顶风机、免电力涡轮排风机等。 而涡轮风机具有以下特点：1、质轻、高强、耐腐蚀；2、运转平稳，寿命长； 3、高效的排风、排湿、排高温功能；4、成本运行，节能环保。

较佳地，抽真空装置40为真空泵，而本案采用真空泵除了取材方便，还 基于真空泵以下特点：1、在较宽的压力范围内有较大的抽速；2、转子具有良 好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不 用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；3、泵腔 内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；4、泵腔内无压缩， 无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。

请参阅图1，气路系统10还包括用以将输入至谐振腔20内部的气体进行 热交换的输入热交换器51及用以将从谐振腔20内部输出的气体进行热交换的 输出热交换器52，输入热交换器51设于谐振腔20的输入端，且该输入热交 换器51分别与第一管路71、第二管路72呈连通设置，输出热交换器52设于 谐振腔20的输出端，且该输出热交换器52分别与第三管路73、第四管路74 呈连通设置。具体地，通过配置有输入热交换器51，使到进入谐振腔20内的 气体不会对在谐振腔20内进行的激励工作造成影响；而配置有输出热交换器 52，使到经激励后的气体排出谐振腔20时，能够换热降温，避免这些气体直 接排放后会加剧升高气体激光器的工作环境。

进一步地，气路系统10还包括用以检测气体驱动装置30的润滑油油位并 且在该润滑油油位小于或等于预设油位值便发生报警的油位检测单元（图中未 标示）、用以检测气体驱动装置30的润滑油是否损耗的耗油检测单元（图中 未标示）、用以检测谐振腔20内部气压是否大于或等于预设气压值的气压检 测单元（图中未标示），且油位检测单元、耗油检测单元、气压检测单元分别 与控制装置电连接。

那么，当打开气体激光器的电源开关后，若油位检测单元检测到气体驱动 装置30的润滑油油位小于或等于预设油位值，便会发生报警，若否，则会进 行下一步操作，而借由油位检测单元，较好地方便用户了解气体驱动装置30 的润滑油是否足够。

而在气体激光器进行正常工作之前，耗油检测单元会检测气体驱动装置 30的润滑油是否损耗，若没有损耗，则可开始正常工作，若有，则需要下一 步操作以排除的损耗的问题，由此，较好地保证气体驱动装置30在没有任何 问题下正常工作，以避免气体驱动装置30的润滑油在气体激光器正常工作期 间内流至其它部件，以致其它部件受到润滑油的影响。

当耗油检测单元检测到气体驱动装置30的润滑油存在损耗情况时，气压 检测单元检测谐振腔20内部气压是否大于或等于预设气压值，其中，本实施 例中的预设气压值为980mBar；若是，则通过控制装置控制防润滑油损耗装置 60将收集的润滑油返回至气体驱动装置30；若否，则向谐振腔回充入保护气 体，该气体主要为氮气（N2），之后再重复执行气压检测单元的检测操作，具 体为，若检测到谐振腔20内部气压小于预设气压值（980mBar），则通过储存 有保护气体的保护气单元向谐振腔20内部回充入氮气，直至谐振腔20内部气 压大于或等于预设气压值后，停止回充氮气操作，由此，通过抽气延时提高了 谐振腔20的真空度，在充入氮气时辅以抽真空，有效抑制了油气渗入谐振腔 20内，提高了气体激光器的稳定性且延长了气体激光器的使用寿命。

下面对本实施例的耗油检测单元的具体结构作进一步描述：

该耗油检测单元包括有在预设倒计时间内倒计测量需要往气体驱动装置 30添加润滑油的时间的第一倒计时器（图中未标示），第一倒计时器与控制 装置电连接；

其中，第一倒计时器的倒计时间可以根据激光器本身的实际情况进行预先 设置，而该倒计时间T1为计算添加润滑油的时间。那么，当第一倒计时器的 倒计时间T1＞0，则表示气体驱动装置30尚未到达收集损耗润滑油的周期； 当第一倒计时器的倒计时间T1=0，则表示气体驱动装置30达到收集损耗润滑 油的周期。

进一步地，该耗油检测单元还包括有在预设倒计时间内倒计测量收集在收 集部612的润滑油返回至气体驱动装置30的时间的第二倒计时器（图中未标 示），第二倒计时器与控制装置电连接；

其中，第二倒计时器的倒计时间可以根据激光器本身的实际情况进行预先 设置，而该倒计时间T2为计算收集在收集部612的润滑油返回至气体驱动装 置30的时间。那么，当所述第二倒计时器的倒计时间T2＞0，表示收集在收 集部612的润滑油开始返回至气体驱动装置30的周期，第一控制阀62的第一 连接管路关闭而第二连接管路打开、第二控制阀63打开，通过第二连接管路 与外界大气连通并借由外界大气气压使到润滑油顺利返回至气体驱动装置 30；当所述第二倒计时器的倒计时间T2=0，表示收集在收集部612的润滑油 全部返回至气体驱动装置30的周期，第一控制阀62的第一连接管路打开而第 二连接管路关闭、第二控制阀63关闭。

请参阅图1及图2，本发明还提供一种气体激光器，具有上述的气路系统 10。由于气体激光器的气路系统10配置有防润滑油损耗装置60，除了避免润 滑油对谐振腔20、抽真空装置40的影响，如谐振腔20的洁净度受到污损、 抽真空装置40的润滑油油位出现超高等；同时，还能将损耗的润滑油收集再 用，保证润滑油的合理使用；再有，还能减少对谐振腔20、抽真空装置40的 维护保养，大大提高气体激光器的工作效率，并降低其运行成本。

请参阅图3，本发明还提供一种上述的气体激光器气路系统10的防油耗 控制方法，包括步骤如下：

S1、打开所述气体激光器的电源开关；

S2、控制所述耗油检测单元检测所述第一倒计时器的倒计时间T1是否等 于零，若是，则执行步骤S3；若否，则执行步骤S9；其中，本实施例的倒计 时间T1取值范围主要基于气体驱动装置30正常消耗润滑油的时间，再将该时 间作倒计时计算，由此，若第一倒计时器的倒计时间T1=0，表示气体驱动装 置达到需要添加润滑油的周期，执行步骤S3，当然，也可以不按照此倒计时 间进行操作，即，在该倒计时间内也可以执行步骤S3；若第一倒计时器的倒 计时间T1＞0，表示气体驱动装置30尚未达到需要添加润滑油的周期，不需 要进行润滑油返回操作，执行步骤S9；而通过此步操作可较好地保证气体驱 动装置30在没有任何问题下正常工作，以避免气体驱动装置30的润滑油在气 体激光器正常工作期间内流至其它部件，以致其它部件受到润滑油的影响；

S3、控制气压检测单元检测谐振腔20内部气压是否大于或等于预设气压 值，若是，则执行步骤S5；若否，则执行步骤S4；其中，本实施例的预设气 压值为980mBar；

S4、控制储存有保护气体的保护气单元向谐振腔20回充保护气，再重复 执行步骤S3；具体为，通过储存有保护气体的保护气单元向谐振腔20内部回 充入氮气，直至谐振腔20内部气压大于或等于预设气压值后，停止操作，由 此，通过抽气延时提高了谐振腔20的真空度，在充入氮气时辅以抽真空，有 效抑制了油气渗入谐振腔20内，提高了气体激光器的稳定性且延长了气体激 光器的使用寿命；

S5、依次控制第一控制阀62的第一连接管路关闭而第二连接管路打开、 第二控制阀63打开，控制耗油检测单元检测第二倒计时器的倒计时间T2是否 等于零，若是，则执行步骤S7；若否，并执行步骤S6；具体为，通过控制装 置依次控制第一控制阀62的第一连接管路关闭而第二连接管路打开、第二控 制阀63打开，以使收集在所述冷凝收集器61的收集部612的润滑油返回气体 驱动装置30，并通过控制装置控制第二倒计时器工作，以倒计测量收集在收 集部612的润滑油返回至气体驱动装置30的时间；

S6、保持第一控制阀62的第一连接管路关闭而第二连接管路打开、第二 控制阀63打开，重复执行步骤S5；

S7、控制第一控制阀62的第一连接管路打开而第二连接管路关闭、第二 控制阀63关闭，并执行步骤S8；

S8、重新设置所述第一倒计时器的倒计时间T1及所述第二倒计时器的倒 计时间T2，并执行步骤S11。

S9、结束气路系统10的防油耗检测操作。

通过控制装置控制油位检测单元以检测气体驱动装置30的润滑油油位、 耗油检测单元以检测气体驱动装置30的润滑油是否损耗、气压检测单元以检 测谐振腔20内部气压是否大于或等于预设气压值，有效地检测出气体激光器 气路系统是否存在润滑油损耗情况，若不存在润滑油损耗，则结束气路系统 10的防油耗检测操作；若存在润滑油损耗，则只要由控制装置控制冷凝收集 器61所收集的润滑油返回至气体驱动装置，以使润滑油合理再用，由此，即 可有效地达到防止润滑油非正常损耗的目的，而且该方法简单合理，大大提高 气体激光器的工作效率，并降低其运行成本。

请参阅图4，在步骤S2与S3之间，还包括步骤：

a、控制油位检测单元检测气体驱动装置30的润滑油油位是否小于或等于 预设油位值，若是，则执行步骤b；若否，则执行步骤S3；其中，本实施例的 预设油位值为根据气体驱动装置30的润滑油总油量0-100%所预先设定的范围 值。具体地，通过控制装置控制油位检测单元进行工作，以检测气体驱动装置 30的润滑油油位是否小于或等于预设油位值，若是，油位检测单元发生报警 以提醒用户，并执行步骤b；若否，则执行步骤S3；而借由油位检测单元，较 好地方便用户了解气体驱动装置30的润滑油是否足够；

b、向气体驱动装置30添加润滑油，再重复执行步骤S2；本实施例的具 体操作为：控制装置控制贮存有润滑油的贮存单元向气体驱动装置30输送润 滑油，直至报警消除，此时，润滑油油位大于预设油位值；当然，亦可人工将 报警关停，接着人工添加润滑油直至润滑油油位大于预设油位值；

进一步地，还包括步骤S12，控制气体激光器进行正常工作。即，在结束 气路系统10的防油耗检测操作后，可直接控制气体激光器进行正常工作。

以上所述仅为本发明较佳的实施例而已，其结构并不限于上述列举的形 状，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均 应包含在本发明的保护范围之内。