双磁场复推型真空电弧蒸发源

摘要

本发明属于一种双磁场复推型真空电弧蒸发源，包括安装基体（5）、阴极靶材（3）、压板（16）、引弧装置固定板（8）和压盖（9），其特征在于安装基体（5）上缠有外磁场线圈（1）；在压盖（9）的中心装有铁芯（12），在铁芯（12）上缠有内磁场线圈（或永磁体）（4）；在引弧装置固定板（8）的上部装有引弧装置（2）。该发明原理、结构简单，靶材利用率高，工件膜层均匀，镀膜质量好，成本低。