一种制备特定晶体取向关系界面HRTEM样品的方法

摘要

本发明公开了一种制备特定晶体取向关系界面HRTEM样品的方法，所述方法包括以下工艺步骤：一、样品表面磨抛后轻度腐蚀出晶界；二、使用EBSD对样品表面晶体取向进行标定，确定适合透射电子显微镜(TEM)观测的特定晶体取向关系界面区域；三、以FIB对选定区域采用平面切取方法制备出特定取向关系界面样品，进行离子束减薄，制备出HRTEM样品。本发明方法通过EBSD和FIB联用定位制备出含有特定晶体取向关系界面区域的HRTEM样品，该界面晶体取向关系明确，满足透射电镜样品倾转角的限制要求，可以进行TEM高分辨成像。