一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列的设计和制备方法，特别是关于一种从衬底侧进行可见光读出的全波段红外焦平面阵列。本发明提供的全波段红外焦平面阵列由微悬臂梁像元阵列和支撑微悬臂梁像元阵列的透明衬底组成，微悬臂梁像元由红外敏感面和微悬臂梁支腿组成，红外敏感面包括主结构层、红外吸收结构层和光学反射镜面。当红外光辐射到焦平面阵列时，设计在红外敏感面上的红外吸收结构将吸收的能量转换成热能，使微悬臂梁像元发生偏转，光学检测系统通过透明衬底读出微悬臂梁像元阵列的形变量和分布。本发明提供的红外焦平面阵列通过在红外敏感面上设置的超材料结构，可进行全波段红外探测和成像，工作在非制冷环境下，可采用简单的聚酰亚胺牺牲层工艺制造。