去除硅片背金工艺后粘结片表面粘结剂的清洗方法

摘要

本发明去除硅片背金工艺后粘结片表面粘结剂的清洗方法，包括如下步骤：S1，使用有机溶剂对零件进行浸泡；S2，使用碱性溶液对零件进行浸泡；S3，使用酸性溶液对零件进行清洗；S4，使用清洗液对零件进行清洗；S5，对零件进行干燥。本发明去除硅片背金工艺后粘结片表面粘结剂的清洗方法搡作简单，耗时少，能耗低、可以保证完成去除粘结剂、清洗效果理想，对粘结片无损伤。