基于源试剂的用于批量沉积的高物质通量流体的输送

摘要

本发明公开了一种系统、试剂支持盘、颗粒抑制装置和方法。一方面，系统包括具有包围内部空间的一个或多个内壁的汽化器容器和构造为在内部空间内垂直堆叠的多个试剂支持盘。将多个试剂支持盘中的每个构造为在内部空间内可垂直堆叠以形成试剂支持盘叠层。将多个试剂支持盘中的一个或多个构造为重新定向通过试剂支持盘叠层中的相邻的试剂支持盘之间的气流，以使气流在进入试剂支持盘叠层中的多个试剂支持盘的下一个之前与特定试剂支持盘中的源试剂物质相互作用。