公开/公告号CN109972119A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05
原文格式PDF
申请/专利权人 恩特格里斯公司;
申请/专利号CN201811632470.4
申请日2013-05-31
分类号C23C16/44(20060101);C23C16/448(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/458(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人顾晨昕
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2024-02-19 11:18:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/44 申请日:20130531
实质审查的生效
2019-07-05
公开
公开
机译: 基于源试剂的具有高物料通量的流体输送,用于批量沉积
机译: 基于源试剂的高通量液体输送,用于批量沉积
机译: 基于源试剂的高通量液体输送,用于批量沉积