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一种CIGS薄膜的非真空制备方法

摘要

本发明公开了一种CIGS薄膜的非真空制备方法。本发明的实施步骤为:采用热注入有机合成法制备出油胺包覆的CIGS纳米晶,不经离心清洗直接将油胺包覆的CIGS纳米晶配置成纳米油墨;采用非真空方法进行涂覆,涂覆一次后在气氛保护下进行热分解退火;退火后待其降温继续进行涂覆,重复上述过程数次,得到一定厚度的CIGS前驱体薄膜;在气氛保护下采用固体硒源进行硒化退火,得到最终CIGS薄膜。本发明在传统非真空纳米油墨法制备CIGS薄膜的工艺基础上简化了工艺流程,提高了薄膜的致密性与平整度。

著录项

  • 公开/公告号CN104465320A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-03-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南红太阳光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201410611748.5

  • 发明设计人 黄齐鸣;易臻希;段桂生;

    申请日2014-11-04

  • 分类号H01L21/02;H01L31/032;H01L31/18;B82Y40/00;

  • 代理机构长沙正奇专利事务所有限责任公司;

  • 代理人马强

  • 地址 410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

  • 入库时间 2023-12-18 08:10:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-04

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20150325 申请日:20141104

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20141104

    实质审查的生效

  • 2015-03-25

    公开

    公开

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