旋转卡盘、具备旋转卡盘的压电振动片的制造装置、压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器

摘要

本发明提供能够在涂敷膜材料而成膜之际，抑制膜厚的不匀的旋转卡盘、具备该旋转卡盘的压电振动片的制造装置、使用该制造装置的压电振动片的制造方法、采用该制造方法制造的压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器。其特征在于：是为了利用离心力在石英圆片65(基板)的一个面65a上涂敷光刻胶材料85(膜材料)而用基板保持部72保持石英圆片65的另一个面65b后使石英圆片65旋转的旋转卡盘70；基板保持部72具有用棱线连接石英圆片65的保持面72a和背面72b的头细状的外周部72d；石英圆片65的另一个面65b和基板保持部72的背面72b圆滑地连续。