金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器

摘要

本发明提出了一种金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，它包括基底、下电极层、压电薄膜、上电极层以及具有与上电极相同形状与面积的暴露在环境中吸附待测物的金纳米多孔敏感膜层。以金纳米多孔膜为敏感材料，可显著提高体声波生物传感器的灵敏度及稳定性；且该传感器工作与常温环境，无需高精度光刻工艺，涉及的材料与制造工艺与现有集成电路制造技术兼容，易于实现阵列化和小型化。可应用于医疗、卫生、食品等领域。