一种使用45度斜角的三维各向异性磁场传感器及其制造方法

摘要

本发明属于磁场探测技术领域，具体涉及一种使用45度斜角的三维各向异性磁场传感器及其制造方法。本发明将用于测量不同纬度磁场的三个各向异性磁阻传感器置于一个使用45度斜角的凹槽或者凸台结构之上形成三维各向异性磁场传感器，使得三维磁场传感器的体积减小、用于测量不同维度磁场的各向异性磁阻传感器更为集中，从而使得三维磁场传感器可以更加灵活地运用到导航系统、磁场测量系统以及测量各种基于磁场的其他物理量的设备中。