波纹管式压电液致动微流控伺服阀及其驱动装置

摘要

波纹管式压电液致动微流控伺服阀及其驱动装置，属于微流体控制技术领域。它解决了现有微流控技术中将压电驱动与液压放大器配合使用的方式，存在密封可靠性差，并且液压放大的放大倍数不稳定的问题。伺服阀的第一容腔保持架为圆桶形，且该圆桶的中心底部设置有通孔，压电膜片覆盖并固定在第一容腔保持架上，第一容腔保持架的出口侧与第二容腔保持架的入口侧通过波纹管实现密封连通，弹性膜片覆盖并固定在第二容腔保持架的出口侧；驱动装置包括压电伺服放大器、数模转换器、微处理器、模数转换器和压力传感器。本发明适用于压电液致动微流控系统中。