压力传感器、汽车轮胎压力监测系统和压力传感器制造方法

摘要

本发明涉及半导体技术，特别涉及一种用于检测汽车轮胎压力的压力传感器及其制造方法。按照本发明的实施例，压力传感器包含：支架；设置在所述支架上的芯片，其具有能够感测压力并产生对应于感测的压力的电信号的表面；设置在所述支架周围的引线脚，其与所述芯片耦合以使所述电信号输出至所述芯片外部的电路，其中，进一步包括覆盖所述表面的胶水保护层。按照本发明的实施例，通过在压力传感器的压力感测表面上涂覆胶水保护层即可达到保护目的，因此无需对压力传感器的结构作大的实质性改变，这降低了制造成本。另外由于覆盖胶水保护层可以采用已有工艺技术，因此进一步降低了成本。