法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20121107 申请日:20120712
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20120712
实质审查的生效
2012-11-07
公开
公开
机译: 制造氧化铟锌半导体薄膜晶体管的方法和方法制造的氧化铟锌半导体薄膜晶体管
机译: 一种使用溶胶凝胶法制备凹面凸物的方法,一种在同一方法中使用的溶胶,一种使用相同方法制备有机元素的方法以及由此获得的有机元素
机译: 通过使用相同的方法制造(铟,镓,锌,氧化物靶标和铟,镓,锌,氧化物靶标)