一种材料表面低温等离子体改性方法及其装置

摘要

本发明提供一种材料表面低温等离子体改性方法，所述方法为：采用负压、电容耦合等离子体放电，待处理物料放置于放电区之外，真空腔壁接地，真空腔内设内电极，内电极上开孔，以利于气体分布和各种活性粒子的流通。一种材料表面低温等离子体改性装置，所述装置包括抽气口、腔体外壁电极、内壁孔、腔体内壁电极、喂气口、处理材料以及等离子体发生电源。本发明所述方法及其装置，等离子体聚合反应温和、副反应少、可控性强，极大地满足了工业生产的需要。