低温等离子体技术在材料表面改性中的应用

摘要

概述了离子注入、离子刻蚀、离子束沉积等离子体表面处理技术的基本原理和最新进展,重点介绍了低温等离子体表面改性技术在电工和微电子设备中的应用。