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用于半导体封装应用中的互连导电物薄膜及其相关方法

摘要

本发明公开了用于集成电路封装的互连导电物薄膜(30)。所述互连导电物薄膜包括承载多个导电区域的基板。所述基板由聚酰亚胺和亚微米级填料组成。所述聚酰亚胺衍生自至少一种芳族二酸酐组分和至少一种芳族二胺组分,所述芳族二酸酐组分选自刚棒二酸酐、非刚棒二酸酐以及它们的组合,所述芳族二胺组分选自刚棒二胺、非刚棒二胺以及它们的组合。所述二酸酐与二胺的摩尔比为48-52∶52-48,并且X∶Y的比率为20-80∶80-20,其中X为刚棒二酸酐和刚棒二胺的摩尔百分比,并且Y为非刚棒二酸酐和非刚棒二胺的摩尔百分比。所述亚微米级填料在至少一个尺寸上小于550纳米;具有大于3∶1的长宽比;在所有尺寸上小于所述薄膜的厚度。

著录项

  • 公开/公告号CN102714192A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-10-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 E.I.内穆尔杜邦公司;

    申请/专利号CN201080061046.4

  • 申请日2010-11-19

  • 分类号H01L23/31;H01L23/48;

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人朱黎明

  • 地址 美国特拉华州

  • 入库时间 2023-12-18 06:52:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-09-09

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L23/31 申请公布日:20121003 申请日:20101119

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-01-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/31 申请日:20101119

    实质审查的生效

  • 2012-10-03

    公开

    公开

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