公开/公告号CN102714192A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 E.I.内穆尔杜邦公司;
申请/专利号CN201080061046.4
申请日2010-11-19
分类号H01L23/31;H01L23/48;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人朱黎明
地址 美国特拉华州
入库时间 2023-12-18 06:52:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L23/31 申请公布日:20121003 申请日:20101119
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/31 申请日:20101119
实质审查的生效
2012-10-03
公开
公开
机译: 在由透明导电金属氧化物组成的层(例如用于模块中薄膜太阳能电池串联互连中的前电极的层)中制作隔离沟槽的方法
机译: 用于薄膜和液晶显示器的薄膜晶体管和薄膜晶体管基板及其生产方法,以及使用其和相关设备和方法溅射的目标薄膜和透明导电薄膜,以及使用该方法和透明电极及相关方法制成的薄膜和透明导电薄膜
机译: 用于薄膜和液晶显示器的薄膜晶体管和薄膜晶体管基板及其生产方法,以及使用其和相关设备和方法溅射的目标薄膜和透明导电薄膜,以及使用该方法和透明电极及相关方法制成的薄膜和透明导电薄膜