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Method of making isolating trenches in layers composed of transparent conductive metal oxides such as those used for front electrodes in the series interconnection of thin-film solar cells in modules

机译:在由透明导电金属氧化物组成的层(例如用于模块中薄膜太阳能电池串联互连中的前电极的层)中制作隔离沟槽的方法

摘要

In a method for making isolating trenches (4) in layers (3) composed of transparent conductive metal oxides, the isolating trench pattern (4) is fabricated on the transparent substrate (1) using a screen-printing paste (2) before the metal oxide layer (3) is applied and after the metal oxide layer (3) is deposited the paste pattern (2) with the metal oxide layer (3) on it is removed by means of the so-called lift-off technique (5) in an ultrasonic bath. The method is used in the series interconnection of thin-film solar cells to form solar-cell modules. IMAGE
机译:在由透明导电金属氧化物构成的层(3)中制造隔离沟槽(4)的方法中,在金属之前,使用丝网印刷浆料(2)在透明基板(1)上制造隔离沟槽图案(4)。涂覆氧化物层(3),并且在沉积金属氧化物层(3)之后,通过所谓的剥离技术(5)去除其上具有金属氧化物层(3)的糊状图案(2)。在超声波浴中。该方法用于薄膜太阳能电池的串联互连中以形成太阳能电池模块。 <图像>

著录项

  • 公开/公告号DE3635770A1

    专利类型

  • 公开/公告日1988-04-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIEMENS AG;

    申请/专利号DE19863635770

  • 发明设计人 STETTERWALTERDIPL.-ING.;

    申请日1986-10-21

  • 分类号H01L31/18;H01L21/76;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 06:52:11

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