公开/公告号CN102708770A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 宏濑科技股份有限公司;
申请/专利号CN201110075171.7
申请日2011-03-28
分类号G09G3/00(20060101);G01R31/02(20060101);G01J5/10(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人任默闻
地址 中国台湾台北县
入库时间 2023-12-18 06:47:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G09G3/00 申请公布日:20121003 申请日:20110328
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-11-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G09G3/00 申请日:20110328
实质审查的生效
2012-10-03
公开
公开
机译: 缺陷成像设备,具有该缺陷成像设备的缺陷检测系统以及使用该缺陷成像系统检测缺陷的方法
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置