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基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计

摘要

本发明公开了一种基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计,包括外壳、第一小孔、第一光纤光栅、第二光纤光栅、第二小孔、质量块、悬臂梁和支座,其中外壳用于作为该光纤矢量加速度计的支撑结构,在该外壳相邻的两个侧壁上开有第一小孔和第二小孔,第一小孔用于固定第一光纤光栅并引出其尾纤,第二小孔用于固定第二光纤光栅并引出其尾纤;第一光纤光栅的一端与质量块固定连接,另一端与第一小孔固定连接;第二光纤光栅的一端与质量块固定连接,另一端与第二小孔固定连接;悬臂梁的一端通过支座固定于该外壳的一个侧壁,另一端与质量块固定连接。本发明在实现矢量探测的同时缩小了光纤矢量加速度计体积,并提高了光纤矢量加速度计整体带宽利用率。

著录项

  • 公开/公告号CN102707091A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-10-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201210192794.7

  • 发明设计人 张文涛;侯跃峰;李芳;

    申请日2012-06-12

  • 分类号G01P15/18(20060101);G01P15/03(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人宋焰琴

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2023-12-18 06:42:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-10-01

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P15/18 申请公布日:20121003 申请日:20120612

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-11-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/18 申请日:20120612

    实质审查的生效

  • 2012-10-03

    公开

    公开

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