公开/公告号CN102707091A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201210192794.7
申请日2012-06-12
分类号G01P15/18(20060101);G01P15/03(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-18 06:42:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-01
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P15/18 申请公布日:20121003 申请日:20120612
发明专利申请公布后的驳回
2012-11-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/18 申请日:20120612
实质审查的生效
2012-10-03
公开
公开
机译: 基于双悬臂梁弛豫器的压电单晶加速度计
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机译: 双光纤布拉格光栅加速度计