Coatings; Fiber optics; Sensors; Magnetic fields; Proximity; Microstructure; Diodes; Electromechanical systems; Cobalt; Induction;
机译:用于灵巧抓地力控制的接近和触觉传感器中微悬臂的小型化和高密度布置
机译:基于MEMS的低成本压阻微悬臂力传感器和传感器模块
机译:为生化传感器建模压阻微悬臂梁传感器对表面应力的响应
机译:靠近表面的微悬臂梁的非线性动力学
机译:使用微悬臂梁和微悬臂梁传感器进行薄膜应力研究。
机译:用于灵巧抓地力控制的接近和触觉传感器中微悬臂的小型化和高密度布置
机译:双光纤微悬臂梁接近传感器