公开/公告号CN102664237A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-09-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院理化技术研究所;
申请/专利号CN201210129044.5
申请日2012-04-27
分类号H01L51/00(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构11257 北京正理专利代理有限公司;
代理人张雪梅
地址 100190 北京市海淀区中关村东路29号
入库时间 2023-12-18 06:28:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L51/00 申请公布日:20120912 申请日:20120427
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/00 申请日:20120427
实质审查的生效
2012-09-12
公开
公开
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