法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/00 申请公布日:20120912 申请日:20101123
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/00 申请日:20101123
实质审查的生效
2012-09-12
公开
公开
机译: 使用一组硅纳米流体原位控制一组掺杂剂扩散曲线的方法
机译: 使用一组硅纳米粒子流体原位控制一组掺杂剂扩散曲线的方法
机译: 使用一组硅纳米流体原位控制一组掺杂剂扩散曲线的方法