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使用一组硅纳米颗粒流体以原位控制一组掺杂剂扩散分布的方法

摘要

本发明公开了形成多掺杂结的方法。所述方法包括提供第一基板和第二基板。所述方法还包括将第一油墨沉积在所述第一基板和所述第二基板中的每一个的第一表面上,所述第一油墨包含第一组纳米颗粒和第一组溶剂,所述第一组纳米颗粒包含第一浓度的第一掺杂剂。所述方法还包括将第二油墨沉积在所述第一基板和所述第二基板中的每一个的第二表面上,所述第二油墨包含第二组纳米颗粒和第二组溶剂,所述第二组纳米颗粒包含第二浓度的第二掺杂剂。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-06-24

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/00 申请公布日:20120912 申请日:20101123

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-01-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/00 申请日:20101123

    实质审查的生效

  • 2012-09-12

    公开

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