硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置及方法

摘要

一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅固固分离回收的装置：进口管连接到垂直电泳槽筒体上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管，下方为阴极电极管，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管，硅出口管另一侧连接硅出口泵，硅出口泵连接到硅回收罐中；阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐中。将硅片切割废砂浆进行固液分离；得到的固相沉积物加入重液及分散剂进行超声振荡分散，通过垂直电泳分离装置将硅与碳化硅分离，该工艺分离得到的碳化硅纯度≥98.5％，硅的纯度≥99.9％。其中重液采用无挥发、无毒环保型多钨酸钠溶液或离子液体，克服了水平电泳带来的重力影响的问题，实现环境友好化。