公开/公告号CN102580941A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 上海集成电路研发中心有限公司;
申请/专利号CN201210045385.4
发明设计人 王毅博;
申请日2012-02-27
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郑玮
地址 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
入库时间 2023-12-18 06:12:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-17
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B3/02 申请公布日:20120718 申请日:20120227
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-21
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B3/02 申请日:20120227
实质审查的生效
2012-07-18
公开
公开
机译: 晶圆干式清洗机和采用相同方法有效清洗晶圆的晶圆清洗方法
机译: 晶圆清洗设备及晶圆清洗方法
机译: 浸没式半导体晶圆清洗设备,特别是用于清洗硅晶圆中的颗粒的设备,使用由晶圆材料制成的声窗将声音以兆声的形式传输到清洗液中