大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置

摘要

大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，包括依次相连的射频电源、双向功率表、阻抗匹配网络和电极接头，金属电极安装在电极接头上，金属电极采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，金属电极分为绝缘部分和放电部分，在金属电极的末端设置有气体供给系统。由于普通的等离子体放电采用的双极放电机构，其空间结构固定，作用于待处理物时因为结构固定有一定的缺陷。而本发明采用的单极放电结构能很好的规避这种缺陷，它是以周围物体作为对应的电极，从而产生等离子体作用于待处理物。