公开/公告号CN102569157A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海摩晶电子科技有限公司;
申请/专利号CN201010601172.6
发明设计人 李煜文;
申请日2010-12-20
分类号H01L21/76;H01L21/761;H05B37/02;H01L29/06;
代理机构
代理人
地址 200235 上海市徐汇区钦州南路81号1911室
入库时间 2023-12-18 06:00:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/76 申请公布日:20120711 申请日:20101220
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-07-11
公开
公开
机译: 集成开关电路的生产包括将隔离物材料施加到衬底上,部分地反蚀刻,用掩模掩膜,注入掺杂剂以及反蚀刻隔离物
机译: 使用掩模形成集成电路以向衬底中与其隔离区域相邻的部分提供离子注入屏蔽的方法以及使用该掩模形成的集成电路
机译: 使用掩模形成集成电路以向衬底中与其隔离区相邻的部分提供离子注入屏蔽的方法